溫成嶺跟隨羅佳離開辦公室,來到光學(xué)部地下三層。
在那里,溫成嶺見到了一部機(jī)器,一部驗(yàn)證原型機(jī),型號為超光刻初代。
“這是一臺光刻機(jī)?”
溫成嶺停下腳步,疑惑的問,同時(shí)露出震驚的表情。
商用型號光刻機(jī)會進(jìn)行外包裝,而這臺是初代機(jī),所以內(nèi)部元器件都是裸露在外的,透過落地玻璃,可以一覽無余。
溫成嶺震撼于這臺機(jī)器的設(shè)計(jì),它個(gè)體很大,擁有多達(dá)六個(gè)機(jī)臺,其中三個(gè)是測量機(jī)臺,另外三個(gè)是標(biāo)準(zhǔn)曝光臺。
更多機(jī)臺可以提高光刻機(jī)的工作效率,每小時(shí)產(chǎn)出更多硅片。
然而增加機(jī)臺的同時(shí),也對機(jī)械結(jié)構(gòu)以及機(jī)臺的減震能力,提出了更高要求,難度系數(shù)呈幾何倍數(shù)增加,所以絕大多數(shù)光刻機(jī)的機(jī)臺都只有兩個(gè)。
光刻機(jī)是半導(dǎo)體領(lǐng)域的皇冠,需要無塵環(huán)境,此刻羅佳他們站在實(shí)驗(yàn)室外面,隔著一層玻璃。
“要不要進(jìn)去看一看?”羅佳問道。
“真的可以嗎?”溫成嶺微微一怔,顯得非常激動。
“當(dāng)然了,我們?nèi)Q防塵服?!绷_佳笑著說。
溫成嶺在北美上學(xué)和工作的年代,中美關(guān)系還不像如今這樣緊張,所以他是識貨的,在斯坦福大學(xué)的實(shí)驗(yàn)室里,見過許多光學(xué)領(lǐng)域最前沿的科技。
時(shí)至今日,北美方面已經(jīng)不允許華夏留學(xué)生,進(jìn)入關(guān)鍵性科技領(lǐng)域?qū)W習(xí)了,以防止技術(shù)外泄,半導(dǎo)體,生命科學(xué),航空航天,都屬于被禁的領(lǐng)域。
但溫成嶺雖然見多識廣,卻從未見過這樣夸張的光刻機(jī)設(shè)計(jì),一臺機(jī)器,同時(shí)在六個(gè)機(jī)臺上展開全自動作業(yè),效率應(yīng)該會非常高吧。
溫成嶺一邊換上白色防塵服,一邊暗暗在心里想,世界科技史上,從來就不缺乏精彩絕倫的創(chuàng)意,然而把創(chuàng)意變?yōu)楝F(xiàn)實(shí),卻是非常困難的,星辰科技的初代機(jī),應(yīng)該還是用來做驗(yàn)證,完成度應(yīng)該不會太高才對。
光刻機(jī)這個(gè)東西難到了什么程度呢?
全世界只有一家公司能做EUV,也就是荷蘭ASML。
紫外光時(shí)代,全球有上百家企業(yè)出沒在光刻機(jī)領(lǐng)域,那個(gè)時(shí)候真可謂百花齊放,精彩紛呈。
然而好景不長,隨著深紫外光技術(shù)的推出,原本一百多家制造光刻機(jī)的企業(yè),銳減到三家,除了佳能,尼康,ASML之外,其他所有企業(yè)全部慘遭淘汰。
從這也不難看出,一次技術(shù)進(jìn)步,會給全行業(yè)帶來多么嚴(yán)重的洗牌。
所有人都死了,還活著的三家自然賺的盆滿缽滿,他們吃著火鍋,唱著歌,大把鈔票自然就來了,生活簡直不要太愜意。
可惜時(shí)間又過了幾年,隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷推陳出新,深紫外光刻也漸漸變的力不從心。
于是光刻機(jī)領(lǐng)域開始了第二輪技術(shù)競賽,而這次技術(shù)競賽的結(jié)果,是佳能和尼康出局,荷蘭ASML成為最后的贏家。
全球唯一能夠制造極紫外EUV光刻機(jī)的超級怪獸,就此誕生!
這樣的慘烈競爭,簡直可怕!
要知道,尼康和佳能絕不是吃素的,他們都是這個(gè)世界上最厲害的光學(xué)企業(yè)。
一說起他們兩家,普通人會馬上想到數(shù)碼相機(jī),各種鏡頭之類的民用產(chǎn)品,但尼康和佳能最強(qiáng)大和最賺錢的并不是民用領(lǐng)域,而是醫(yī)療器械。
當(dāng)你去醫(yī)院里,花一千來塊錢拍個(gè)CT的時(shí)候,所用的設(shè)備,很可能就是佳能或者尼康制造的,要不然就是理光,西門子,日立。
而一臺CT設(shè)備的售價(jià),高達(dá)上千萬元,僅僅華夏地區(qū),就有上萬套CT設(shè)備,全部來自進(jìn)口,你猜這些年來,霓虹醫(yī)療器械巨頭,從華夏賺走了多少錢?
再說,你買了一臺CT機(jī)并不算完,配套軟件,設(shè)備檢修,各種耗材,也是要花錢從霓虹人手里買。
總而言之,佳能和尼康是極其厲害的企業(yè),光學(xué)領(lǐng)域扛鼎的存在,卻依然慘敗給荷蘭ASML,足以看出這個(gè)行業(yè)的門檻不是高,而是高到了天上。
荷蘭ASML也不是什么無名小卒,它們的前身是大名鼎鼎的飛利浦光學(xué),他們用的物鏡,來自全球鏡片領(lǐng)域第一大牛,德國卡爾.蔡司。
可以說,集合整個(gè)歐洲,再加上一部分北美的力量,才搞出了ASML這個(gè)怪物。
在過去,ASML是沒有對手的,直到星辰科技出現(xiàn)。
羅佳異想天開,決定彎道超車,繞過由紫外光,深紫外光,極紫外光組成的前三代核心技術(shù),直接進(jìn)入光刻機(jī)的第四代,超紫外混合激光,這其中的難度,外行人是永遠(yuǎn)無法明白的。
唰~
溫成嶺正思考著,實(shí)驗(yàn)室的密封門忽然在他面前打開了。
他笑了笑,在進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室之前對羅佳認(rèn)真的說道:“羅總,我的專業(yè)是激光,也自信能夠搞定光刻機(jī)的光源問題,但您應(yīng)該也知道,一臺光刻機(jī)僅僅有光源是不夠的,其他數(shù)以千計(jì)的核心零部件,我可就無能為力了?!?br/>
這算是給羅佳打預(yù)防針了,他說這話的意思是,我能幫你把超紫外混合激光搞出來,但激光之外的事情,我也是無能為力,還要看星辰科技自己的力量。
羅佳只是點(diǎn)頭笑了笑,并沒有說什么。
兩個(gè)人很快來到這臺機(jī)器跟前,羅佳淡淡的說,“這就是我們的初代機(jī),它共分為十三大結(jié)構(gòu),分別是激光發(fā)生器,光束矯正器,能量控制器,光束形狀調(diào)整器,遮光器,能量探測器,掩膜版,掩膜臺,物鏡,測量臺,曝光臺,封閉框架,磁懸浮減震?!?br/>
羅佳指著機(jī)器,介紹這臺復(fù)雜的組成。
雖然聽名字似乎很簡單,但就算用腳后跟想也能明白,作為半導(dǎo)體行業(yè)的王冠,又怎么可能簡單呢。
就拿這臺光刻機(jī)的物鏡來說,如果你以為那是一個(gè)類似單反鏡頭東西,那就完全錯(cuò)了。
ASML公司EUV型光刻機(jī)采用的物鏡,高達(dá)一米八四,寬度接近七十公分,是德國光學(xué)巨頭卡爾.蔡司集團(tuán),與激光巨頭亞琛集團(tuán)聯(lián)合制造的。
物鏡多少錢?
抱歉,無論羅佳掏多少錢,都買不到這套物鏡。
從成本的角度估算,這套物鏡的成本應(yīng)該在一千萬美元左右,其復(fù)雜程度和精確程度,足以被寫入光學(xué)發(fā)展史。
羅佳給溫成嶺看的,就是這么個(gè)東西,它巨大而精密,充滿科幻電影般的未來感。
而且ASML的EUV是第三代,羅佳這個(gè)是第四代,超紫外光,技術(shù)復(fù)雜程度還要更高。
“你們竟然已經(jīng)做到了這種程度!?”溫成嶺激動的瞪大眼睛,發(fā)出不可思議的聲音。
剛才距離遠(yuǎn),又隔著玻璃,所以沒太看清楚,還以為是個(gè)樣子貨。
如今走進(jìn)無塵實(shí)驗(yàn)室里,溫成嶺才恍然發(fā)覺,這臺四代光刻機(jī)的完成度,已經(jīng)如此之高!