“咱們真的要把光刻機給拆開？”

    凈室內(nèi)，白馬的雙手都在忍不住顫抖。

    這玩意一臺價值千萬，全華夏都只有那么屈指可數(shù)的幾臺，不得不說王向中是真的會玩。

    “不拆怎么行，不拆，怎么學習人家的先進技術(shù)？”王向中笑道，手上那可是一刻都沒閑著。

    此時的他正帶領(lǐng)著幾個研究生，拿著螺絲刀和扳手，正在一絲不茍地拆卸著眼前的康尼光刻機。

    盡管李東對此事表示萬分反對，但在王向中的威逼利誘之下，他也不得不接受這一切，畢竟條件太誘人了——免費的工藝提升，又有誰能拒絕這個條件呢？

    但一下子要讓廠里損失五分之一的產(chǎn)能，每個月?lián)p失高達數(shù)百萬，這也讓李東心痛不已，但是一想想晶華的未來，他最終還是忍了下來。

    將防震裝置卸下，撬開光刻機上的鋼制蓋子，其中的透鏡組以及工作臺便露出了水面。

    “我們現(xiàn)在不著急把透鏡組拆開，我們先通過廠里留存的數(shù)據(jù)和物鏡組的物理結(jié)構(gòu)，畫一個模型，測算一下理論數(shù)據(jù)?！?br/>
    王向中指著透鏡組說道。這款尼康NSR-1010g的透鏡組高約1.2米，直徑約在10-20厘米范圍之間，與后世出現(xiàn)的DUV光刻機鏡頭不同，它整體呈現(xiàn)一個兩頭細、中間粗的樣式。

    這是一組典型的遠心鏡頭設(shè)計，遠心鏡頭設(shè)計的好處就是它可以在一定的物距范圍內(nèi)，使得到的圖像放大倍率不會變化，這對被投影物不在同一物面上的情況是非常重要的應(yīng)用。

    透鏡組中含有17塊直徑大小、球面曲率皆是有所不同的凸透鏡和凹透鏡，其中部分球面鏡可以使用位置調(diào)節(jié)功能，用于調(diào)整透鏡的散射和誤差。

    因為在光刻過程中，當激光通過透鏡組時，透鏡本身還會吸收激光本身的部分能量，導(dǎo)致透鏡受熱膨脹，最終使其密度發(fā)生變化，折射率改變。

    因此在這根透鏡組管上，還有不少預(yù)留于通風的管道和加熱裝置，用于給鏡片散熱和加熱，讓焦深保持穩(wěn)定狀態(tài)。

    正當王向中解釋著鏡頭時，不少研究生已經(jīng)開始用卷尺和游標卡尺測量記錄參數(shù)、模擬畫圖了。

    他給在坐的研究生們詳細介紹了一番光刻機的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和原理，幾乎是如同信手拈來一般流暢，瞬間也是扳回了不少印象。

    原本他們還以為王向中只是個憑借背景，不學無術(shù)的小屁孩，沒想到在理論研究上造詣竟然如此之高，因此眾人自然是會對他高看幾分。

    現(xiàn)在看來，把劉兵這種人物趕走顯然也是有他自己的道理。

    “說了這么多，但畢竟我不是光學和材料學的專業(yè)人員，有些事情還得靠你們。我們拿不到康尼公司給到的具體數(shù)據(jù)，因此只能是自己動手驗證?！蓖跸蛑袊@了一口氣道。

    但是研究生們似乎壓根不理會王向中的言論，只是近距離地觀摩研究著這美輪美奐的精致設(shè)計，還不時發(fā)出贊嘆之聲。

    “這些鏡頭的材料都是氟化物晶體，據(jù)我推測，康尼的物鏡大概使用的是特殊合成石英，這種材料的透光率極高，國內(nèi)暫時還搞不到?！?br/>
    “目前來講，有兩種方案，第一種是加鏡片，通過在狹小的空間內(nèi)加入更多的鏡片，從物理層面提升它的數(shù)值孔徑；第二種是改裝投影物鏡鏡頭裝置，通過技術(shù)層面來增加數(shù)值孔徑。”

    “受專業(yè)限制，我不知道哪種方法更現(xiàn)實，所以還要請各位師兄結(jié)合實際，驗證一下這兩項方案的可行性。”王向中補充道。

    對于大數(shù)值孔徑光刻投影物鏡來說，除了完善的光學系統(tǒng)設(shè)計方案外，關(guān)鍵在于光學加工、裝校、調(diào)整以及相關(guān)的測試。投影光刻物鏡鏡頭裝配的最終目標是嚴格按照理論設(shè)計的要求保證鏡頭中每個鏡片的相對空間位置精度，其中最主要的是沿光軸方向的空氣間隔和相鄰鏡片之間的偏心誤差，對光學元件的空氣間隔和偏心誤差的檢測精度往往在1/5到1/10微米之間。

    “我認為第二種方法更可行?！贝藭r，一個青年男子從人群中站起身來，“我是江超，和劉兵一樣，都是物理系吳光教授手下的博士研究生，目前正在讀博一，他是我的師兄。”

    “第一種方案顯然不太可行，康尼這款光刻機的整體鋼骨架是固定的，加入更多的鏡片就意味著相應(yīng)的透鏡組整體長度也要增加不少，要想把數(shù)值孔徑提高到0.5，需要至少25片透鏡，這個不太現(xiàn)實?！?br/>
    “雖然設(shè)計上的難度其實不是特別大，從雙高斯入手，一段段分裂透鏡，改進足夠久后總可能得到一個不錯的結(jié)構(gòu)形式?！?br/>
    “但在投影光刻物鏡鏡頭裝配的過程中，子鏡筒裝配、鏡筒級聯(lián)裝配、鏡片偏心和空氣間隔的檢測以及單個鏡片的位置調(diào)整等步驟是一個反復(fù)迭代進行的過程。并且鏡片的空間位置檢測以及單個鏡片的位置調(diào)整具有相當高的實時性要求?！?br/>
    “最重要的一點，”江超深深地嘆了一口氣，愁容滿面道：“我們搞不到鏡片?！?br/>
    眾人聽到江超的一番話，皆是陷入了沉思之中。

    的確如江超所言，光刻機鏡頭的最大難度不在設(shè)計，而在于工藝實現(xiàn)這一步，不僅是材料很難搞，合成石英需要降應(yīng)力、提純度、去氣泡條紋，還有超高面型精度的鏡片加工，打磨、測量、裝配等等工作都夠他們一群人吃一壺了。

    所以應(yīng)用現(xiàn)有的鏡頭結(jié)構(gòu)，通過部分技術(shù)參數(shù)的調(diào)整，同樣也可以實現(xiàn)數(shù)值孔徑提高的要求。

    “我有一個大膽的想法，斗膽一說，還請大家多多分辨分辨。”江超調(diào)整了一下護目鏡，“我們可以嘗試在照明上多做一些功夫，比如采用離軸照明法、四極照明法，環(huán)形照明法或者是傾斜照明法?！?br/>
    “當然鏡頭上也要有改進，通過對溫度、氣壓補償來實現(xiàn)倍率補償，從而改善線寬質(zhì)量和提高分辨率！”