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嫂子勾 許振鳴是外行人能知道這臺光刻機(jī)

    “許振鳴是外行人,能知道這臺光刻機(jī)的技術(shù)原理么?”

    “錦上添花沒有雪中送炭來得劃算,我還是等到最后再亮出底牌才好?!?br/>
    猶豫半天,梁宋松還是忍住了,沒把自己的判斷和設(shè)想說出來。他轉(zhuǎn)過臉去,開始安排自己小組的實驗流程工序。

    這時。

    郝寧教授的小組成員已經(jīng)進(jìn)入狀態(tài),把激光能量測試儀、激光光譜分析儀、激光頭焦距測試儀等各種儀器調(diào)試好,隨時可以進(jìn)入測試狀態(tài)。

    見郝寧教授小組的準(zhǔn)備工作已經(jīng)就緒,梁宋松伸手捋了捋頭上油光澤亮的頭發(fā),表情嚴(yán)肅的下令:“郝教授,咱們開始試驗,第一步是測試激光能量的衰減率?!?br/>
    “開始試驗!把能量測試儀調(diào)整到自動調(diào)節(jié)運(yùn)行狀態(tài),每一個0.001毫米的高度測試一組數(shù)據(jù)?!焙聦帓吡艘谎哿核嗡?,隨后就進(jìn)入工作狀態(tài)。

    激光光路系統(tǒng)的能量測試難度非常大,空間高度每相差0.001毫米,激光在空氣中消耗的能量就會衰減一個數(shù)據(jù)級。而激光能量的最終值會影響到激光曝光的強(qiáng)度,影響到芯片光刻物理線路圖的精度。

    梁宋松之所以把這個測試項目放在第一步,也正是因為如此。但他此時卻不慌不忙,好像已經(jīng)知道測試以后的數(shù)據(jù)一般。

    “第一個節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)正常,激光能量衰減度低于0.009的數(shù)據(jù)級?!?br/>
    “第二個節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)也正常,能量衰減度低于0.0095的數(shù)據(jù)級?!?br/>
    “第三個節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)更漂亮……”

    隨著激光能量測試靶子的不斷下降,工作站監(jiān)視器上的數(shù)據(jù)在不斷跳動著。郝寧等人看著數(shù)據(jù),嘴里也不自覺的說出測試數(shù)據(jù)的結(jié)果。

    這些數(shù)據(jù)都在規(guī)定范圍之內(nèi),表明這套米國佬生產(chǎn)的激光光路系統(tǒng)質(zhì)量非常穩(wěn)定。

    “老米的產(chǎn)品質(zhì)量的確非常好?!?br/>
    “誰說不是呢。體積小功率大,噪音也小,功耗還非常低。要是我們生產(chǎn)的激光光路系統(tǒng)能達(dá)到這種標(biāo)準(zhǔn)就好了。”

    “我們的激光發(fā)生器做不到這一點(diǎn)。機(jī)械加工精度不如人家、光學(xué)儀器加工精度不如人家、光學(xué)材料的質(zhì)量不如人家。我們拿什么來人家比?”

    胡磊和李峰兩個老頭子,一邊關(guān)注著監(jiān)視器,一邊無奈的搖著頭。他們在贊嘆這臺激光光路系統(tǒng)的同時,又有點(diǎn)無可奈何。

    作為華夏國培養(yǎng)出來的第一代光學(xué)工程專家,他倆要比大多數(shù)華夏工程更具有集團(tuán)榮譽(yù)感。在他們青春年少的時代,華夏國就連最普通的軍用望遠(yuǎn)鏡都要從東德和捷克進(jìn)口。

    正是因為他們這代人的努力,華夏國的普通光學(xué)儀器,都已經(jīng)能自足自給了。這也算是一項了不起的創(chuàng)舉。

    在光學(xué)產(chǎn)品這方面,德國人蔡司公司一直都是領(lǐng)頭羊,從來都沒有被超越過。

    蔡司公司有專門的光學(xué)研究大學(xué)、研究所,累計投入的研究資源無法估計,一般的國家憑啥能隨意超過它?除非像白熊國和米國一樣,以戰(zhàn)勝者的身份踏入德國,拿走現(xiàn)成的研究資料。

    想到這么多,胡磊的心里要平衡許多。他收回目光,看向真正忙碌的年輕助手們。

    “好在我們集團(tuán)公司注意梯隊建設(shè),這些小年輕就是我們國家光學(xué)儀器科學(xué)的未來?!焙诘男那楹昧嗽S多,嘴角泛起一絲微笑。

    “郝總,第一遍測試已經(jīng)完成,現(xiàn)在要重新做一遍測試嗎?”就在這時,負(fù)責(zé)操控激光能量測試儀的技術(shù)員轉(zhuǎn)過頭來詢問郝寧教授。

    這遍測試要消耗掩膜片、光刻試劑、中間調(diào)節(jié)試劑、激光靶子面的光學(xué)鏡片等耗材,費(fèi)用頗多。再做一遍測試的費(fèi)用也不會少一分,技術(shù)員小張當(dāng)然要征求郝寧教授的意見。

    郝寧想都沒想,隨口就道:“當(dāng)然要測試,我們的團(tuán)隊做事一定要謹(jǐn)慎。像這種例行測試,最好要做三遍才能取信實驗數(shù)據(jù)?!?br/>
    說完這些,他猛然想起這次實驗是由梁宋松主導(dǎo),自己不能亂下結(jié)論。于是,他回過頭來看向梁宋松。

    從內(nèi)心深處來說,梁宋松比較相信米國人的產(chǎn)品質(zhì)量。他此時胸有成竹的一笑,“英特爾公司的質(zhì)檢程序比我們要嚴(yán)格,他們公司轉(zhuǎn)讓過來的產(chǎn)品一定沒問題。我認(rèn)為沒有必要再做試驗了。”

    說話間,他笑嘻嘻的看向半蹲在地上的萬寧古和許振鳴。、

    “萬總,我們組檢測的數(shù)據(jù)已經(jīng)出來,這套激光光路系統(tǒng)的輸出功率非常穩(wěn)定,在空氣中的衰減率完全達(dá)標(biāo)。我的意見是可以結(jié)束這項測試,進(jìn)行下一項的測試工作?!?br/>
    “是啊,老米的產(chǎn)品就是好,小巧、精密、輸出功率大而且穩(wěn)定。”

    “我們的激光光路系統(tǒng)若是能做到這一步就好嘍?!?br/>
    在梁宋松匯報完工作以后,胡磊和李峰兩位老專家感慨萬分的附和著。

    而這時。

    郝寧教授卻持有不同意見,“胡老、李老,我們當(dāng)前的工作重心不是研發(fā)新一代激光光路系統(tǒng),而是研發(fā)這種微米的激光能量測試儀。沒有這種精密測試儀器,我們再往的后路不好走啊。”

    “哎……是這個道理?!?br/>
    “微米級光學(xué)能量測試儀涉及到精密機(jī)械、精密控制、精密傳感、尖端特殊材料等方方面面,難度不小啊郝總?!?br/>
    胡磊和李峰被郝寧教授帶動了思路,轉(zhuǎn)而又關(guān)注到自己本職工作方面的困難。而這個困難,正是當(dāng)下的華夏研究人員們共同面對的難題。

    華夏國方方面面的技術(shù)儲備都薄弱,匯總到一起就更加薄弱。要搞這種系統(tǒng)方面的工程,難度可想而知。

    梁宋松來到一鳴集團(tuán)公司有很長時間,對華夏國技術(shù)儲備的狀況非常了解。他根本就不看好國內(nèi)有人能搞出尖端的光學(xué)能量測試儀。

    “嗯…”

    因此,梁宋松不以為然的一笑,鼻音很濃的那種笑。他雖然在刻意掩飾,卻還是沒能掩蓋住自己不屑情緒。

    “即便再難,我們也要搞自己的一套光學(xué)測試儀器。否則,我們怎么去研發(fā)第四代光刻機(jī),或者第五代光刻機(jī)?”

    大概感覺到梁宋松的不屑之意,郝寧教授有些激動的一揮手。隨后他看向許振鳴,認(rèn)為還要按照預(yù)定好的測試程序,對這臺激光光路系統(tǒng)再做兩遍測試。